Nome strumento |
Piattaforma di microfabbricazione Elveflow |
Foto |
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Descrizione dello strumento |
La piattaforma di MicroFabbricazione Elveflow è composta da due stazioni: una per la preparazione di stampi (mold) su wafer di silicio con resina fotoresistente (photoresist); e una per la replica dei mold (fabbricazione di chip) in Polidimetilsilossano (PDMS). La prima stazione è composta da: una piastra riscaldante (per trattare il wafer di silicio e il mold), uno Spin-Coater (per diffondere il materiale fotoresistente sul wafer allo spessore desiderato), una Lampada UV (per permettere la reticolazione del materiale fotoresistente e creare la maschera desiderata). A corredo: una bilancia tecnica e un essiccatore sottovuoto. |
Referenti Scientifici |
Costanza Montis, Stanza 322 (edificio 301) Massimo Bonini, Stanza 302 (edificio 301), |
Referenti Tecnici |
Luisa Lascialfari, ed. 302, st. 241 Martina Giannoni, ed. 302, st. 241 Patrizia Andreozzi ed. 302, st. 241 |
Eventuale Moderatore |
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Collocazione |
Edificio 301 (Lastruccia 3) Piano primo Laboratorio 175 |
Modalità di utilizzo |
Diretto, previa breve formazione on-site da parte del referente tecnico. (modulo C1 (nuovo) ) |
Manuale di utilizzo |
Tutti i manuali sono disponibili in formato cartaceo in laboratorio |
Breve guida pratica di utilizzo |
Guida di Utilizzo |
Regolamento di utilizzo |
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Caratteristiche dei calendari di prenotazione |
Prenotazione con credenziali (solo per abilitati all’uso diretto e autorizzati alla |
Registro utilizzo |
Digitale online Cartaceo |
Archiviazione dati |
Non prevista |
Tariffe per uso interno |
v. tariffario |
Tariffe per uso esterno |
v. tariffario |
Nome e Cognome |
Matricola |
Utente esterno |
RADR |
Autorizzato a prenotare |
Data di scadenza dell’abilitazione |
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Ultimo aggiornamento
02.10.2024